2X、2XZ系列真空泵可单独使用,亦可作为增压泵、扩散泵、分子泵及钛泵的前级泵使用。
2X系列双级旋片真空泵技术规格:
2X-2
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2X-4
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2X-8
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2X-15
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2X-30
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2X-70
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极限分压强(Pa)
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<6×10-2(<5×10-4 torr)
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极限全压强(Pa)
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<2.66(<2×10-2 torr)
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抽速(L/S)
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2
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4
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8
|
15
|
30
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70
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电机功率(Kw)
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0.37
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0.55
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1.1
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2.2
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3
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5.5
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进气口直径(mm)
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25
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28(25)
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34(40)
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36
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65
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80
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冷却方式
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自然风冷
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水冷
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注油量
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0.35
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0.55
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0.6
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4.2
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3.2
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5
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重量(Kg)
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40
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60
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78
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128
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231
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375
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