在高纯水的生产过程中，水中的阴阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除，水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
超纯水设备是反渗透设备跟离子交换混床或EDI相结合配套使用。
离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制备超纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求，生产出达到更高标准的超纯水。
超纯水工艺流程
1、反渗透设备+离子交换设备：
原水→原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂投加设备→精密过滤器→高压泵→反渗透主机(单级或者双级)→CQ2脱气塔→中间水箱→中间水泵→离子交换床→终端过滤器→超纯水
2、反渗透设备+EDI装置：
原水→原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂投加设备→精密过滤器→高压泵→反渗透主机(单级或者双级)→CQ2脱气塔→中间水箱→中间水泵→EDI装置→超纯水
EDI设备：去离子(Electrodeionization)简称EDI，是一种将离子交换技术，离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的纯水制造技术。属高科技绿色环保技术。EDI净水设备具有连续出水、无需酸碱再生和无人值守等优点，已在制备纯水的系统中逐步代替混床作为精处理设备使用。EDI技术的环保特性好，操作使用简便，愈来愈多地被人们所认可，也愈来愈多广泛地在医药、电子、电力、化工等行业得到推广。
优点：1.无需酸碱再生：在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生，而EDI则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作。保护了环境。2.连续、简单的操作：在混床中由于每次再生和水质量的变化，使操作过程变得复杂，而EDI的产水过程是稳定的连续的，产水水质是恒定的，没有复杂的操作程序，操作大大简便化。3.降低了安装的要求：EDI系统与相当处理水量的混床相比，有较不的体积，它采用积木式结构，可依据场地的高度和窨灵活地构造。模块化的设计，使EDI在生产工作时能方便维护。
