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ETCH、CVD半导体电源柜

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  • 发布日期:2014-08-02 23:22
  • 有效期至:长期有效
  • 招商区域:上海
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详细说明

 用途:半导体材料在我国是一种新型工业,它的生产过程控制严格,要求很高的安全性。本公司开发的ETCH、CVD系列,一方面能满足本国生产要求,同时可以提供安全出口之需要。

特点:      ◆ 本装置采用元件需经过UL认证或国内外相应认证机构的认证。
                ◆打开柜门、用手触摸不到元件带电部分,已有接线全部用聚碳酸板隔离绝缘。
                ◆需测量的点位、设有专用测量点。
                ◆各种配电柜和配电箱均有紧急停止按钮(EMO)确保人身安全和设备保护。
型号规格:◆ 交流电源配电柜(AC RACK 2.0)
                ◆交流配电箱(AC Box)
                ◆系统控制柜(controller Box)
                ◆直流配电箱(DC Box)
技术参数:额定电压:208V
                额定频率:50HZ
                额定电流:400A
                直流电源:DC V

     

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