用途:半导体材料在我国是一种新型工业,它的生产过程控制严格,要求很高的安全性。本公司开发的ETCH、CVD系列,一方面能满足本国生产要求,同时可以提供安全出口之需要。
特点: ◆ 本装置采用元件需经过UL认证或国内外相应认证机构的认证。
◆打开柜门、用手触摸不到元件带电部分,已有接线全部用聚碳酸板隔离绝缘。
◆需测量的点位、设有专用测量点。
◆各种配电柜和配电箱均有紧急停止按钮(EMO)确保人身安全和设备保护。
型号规格:◆ 交流电源配电柜(AC RACK 2.0)
◆交流配电箱(AC Box)
◆系统控制柜(controller Box)
◆直流配电箱(DC Box)
技术参数:额定电压:208V
额定频率:50HZ
额定电流:400A
直流电源:DC V